產(chǎn)品應(yīng)用:
MOCVD是一種利用有機(jī)金屬分解反應(yīng)進(jìn)行氣相外延生長(zhǎng)薄膜的化學(xué)氣相沉積技術(shù)。為了生長(zhǎng)出多組分、大面積、薄層和超薄層化合物半導(dǎo)體材料， MOCVD設(shè)備除了要考慮系統(tǒng)密封性、流量、組分變換迅速等，最重要的是反應(yīng)腔的溫度控制。MOCVD腔體溫度控制精度需達(dá)到0.2℃或更高，高的溫度均勻性也是產(chǎn)品良率的重要保證。
.jpg)
材料介紹:
因?yàn)殒u、鉬、錸等難熔金屬材料具有耐高溫、低污染、優(yōu)異的耐蠕變性能、較高的尺寸穩(wěn)定性、膨脹系數(shù)低、可焊接性能等優(yōu)勢(shì)，所以被廣泛用做MOCVD加熱器的加熱絲、隔熱屏、導(dǎo)電板等零部件。
錸加熱絲
- 錸板，錸片，錸棒
- 鎢棒、鎢板、鎢箔、鎢絲
- 客戶定制鎢異型制品
- 客戶定制鉬異型制品
產(chǎn)品規(guī)格:
我公司MOCVD項(xiàng)目的技術(shù)研發(fā)實(shí)力雄厚，可以提供整套加熱器設(shè)計(jì)方案、產(chǎn)品，同時(shí)還可以為客戶提供MOCVD設(shè)備加熱片的更換、升級(jí)以及修復(fù)等服務(wù)。
V系列：K465（i）、EPIK700、E475、K475、Maxbright 系列MOCVD加熱器的修復(fù)、升級(jí)、更換。
A系列：CRIUS，CRIUS II， CRIUS II-L 系列MOCVD加熱器的修復(fù)、升級(jí)、更換。 我公司還擁有自主開(kāi)發(fā)MOCVD加熱器的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，可根據(jù)客戶需求提供整套技術(shù)及產(chǎn)品解決方案。
